第245章  你难道连这个也懂

    「继续讲吧。」

    徐铭点点头重新看向对方，示意往下接著报告。

    这时旁边的余高远，同样没有耽搁，迫不及待也跟在后面附和上一句。

    「对。」

    「快说下其他测试项目情况？」

    迎上现场所有人目光的实验室工作人员，因紧张下意识咽了口唾沫后，随即接著念出手中报告后面的内容。

    「线条边缘粗糙度出现异常，LER的测量值，普遍比璇玑系统预测高出30%。」

    随著这句话讲出，房间内的氛围顿时一变。

    原本还浮现在脸上的笑容，瞬间便消失不见，就像是大冬天突然被浇了盆冷水。

    没想到首次全链路功能验证流片，还是不可避免的出现了问题。

    而神情变化最大的，则要属化学研究所人员，尤其是周启深院士。

    旁边华天科技公司工程师，也微微有些皱眉。

    从刚才的测试结果来看，国产逐光极紫外光刻机，主体研发成功没有问题，在线条边缘粗糙度上，出现这么大数值的偏差，原因大概率在光刻胶或者算法工具，说明仍旧存在没有发现的错误。

    正当大家陷入沉思时，只见周启深一个跨步，来到那位实验室人员跟前，迅速接过数据报告认真查看起来。

    视线约摸移动了几行内容，口中不由得低喃出声。

    「线条边缘在显微镜下，呈现出颤抖的毛边形态，并非预测中的光滑刀刃。」

    「我们的光刻胶刚完成技术升级————」

    「不应出现这种情况才对？」

    话音还未完全落下，华天科技董事长孙庆丰，几乎下意识脱口接上一句。

    「璇玑系统是由徐总师亲自带领大家开发，预测的数值绝对能够保证精度。」

    「没错。」苏振豪闻言也点了点头。

    他全程见证了，徐铭亲自参与璇玑系统开发，深知其核心算法和模型的技术程度，是绝无例外的远远领先于海外三大EDA公司产品。

    贺鹏涛与丁顺安等微电子装备这边，按理说应该会逐光极紫外光刻机的成功高兴，但突然出现这种情况，心里涌现出几分担忧。毕竟无论光刻机还是光刻胶，亦或者璇玑系统软体，都是为了制造高端晶片服务，任何环节出现问题所带来的结果一样。

    那就是生产线无法启动。

    至于院长余高远，和其他领导，因未具体参加项目。

    面对稍专业的内容，无法做出判断。

    只得把目光投向，身为总设计师的徐铭。

    将大家的反应看在眼里，徐铭这时却并不意外，相反早就做出了类似情况的措施。

    不管怎么说，这都是首次进行全链路流片验证，中间涉及到的因素实在太多太多，纵使发生状况也属于很正常的一件事情。

    要知道在极紫外光刻机领域，国内可没有什么流片的具体经验。

    在这件事上，还是要承认海外优势的。

    念头停留在这里，他目光在众人身上扫过，接下周院士递来的报告，垂眼快速浏览完后，依旧无比镇定的讲出自己的相关判断。

    「可能是工艺波动，或者测量误差，先等电性测试结果出来吧。」

    「结果预计多久？」后边这句是对实验室人员说的。

    「报告徐总师，电性测试也在进行中，下午应该就应能有详细数据出来。」实验室工作人员连忙沉声回答。

    「那好。」

    「大家就再耐心等等吧。」徐铭收回目光看向大家说。

    眼看后续方向明确下来，余高远也不再沉默，主动接过话茬帮助大家调整好心态。

    「为了研发出，百分之国产化的晶片制造产业链，咱们所有人都已经等了很多年。」

    「哪还会差这点时间。」

    「况且咱们还有将近一年时间，肯定来得及。」

    尽管他很清楚，大家都肩负著很大压力，无比希望能在阿斯麦新产品正式发布前，推出国产极紫外光刻机，但越是到这个时候越是要稳住心态。

    确保产品技术的绝对成熟。

    而最关键的一点，是他对徐铭的信心。

    有著余高远调节氛围，待实验室工作人员，急忙离开去盯电性测试时，房间内也再次恢复安静，谁都没有率先开口打破僵局进行交流。

    不过可以确定一点，周启深以及化学研究所，大部分人脸上神情都肉眼可见的紧张。

    仿佛在等待最终的宣判书。

    在这种氛围下，中午大家甚至都没舍得，下楼去外面食堂吃饭。

    直接订了些盒饭送到房间，边吃边等结果。

    时间一分一秒过去，当日头走过正午，逐渐向西面偏移快到三点的时候。

    万众期待下，房间的门终于再次被敲响。

    这回不用徐铭开口，便有人一把拉开房门，将人拽进来的同时迫切询问。

    「怎么样？」

    「数据结果出来了吗？」  

    此话一出，也瞬间吸引现场所有人的目光。

    「报告在这里。」实验室工作人员，点点头主动走过去把文件递到徐铭手中。

    徐铭接下打量上去，约摸过去几分钟时间，方合上报告转递给身旁的其他人翻阅。

    「你们也看看吧。」

    口中话音前脚刚落下，紧跟在后面又详细分析。

    「电晶体性能未能达到预期，开关速度比璇玑系统预测值慢了15%左右，且波动范围也比较大。」

    「加上漏电流也比预测值高出一个量级，这会严重影响晶片的功耗出现失效「」

    O

    根据这几项测试的结果看，实际流片数据，根本达不到璇玑系统的数字流片，这样的良品率，可没法用于商业生产线的使用。

    必须找到问题将其解决。

    很快。

    伴随大家都看完报告，人群中的苏振豪率先开口，依旧坚持自己的判断。

    「璇玑系统的模型算法，经过了无数次验证，预测数值是不可能出现问题的。」

    眼看众人要针对此事召开讨论时，只听徐铭再次开口拍板为情况做出决断，显然通过这些数据报告，已然成功找到了问题的真正所在。

    「问题不在于我们的设计软体，也不在逐光极紫外光刻机的光学投影上，如果我的判断没有错，应该是光刻胶在响应极紫外光时发生了，模型之外的化学反应暴走。」

    「由光刻胶响应迟缓随机，引起图案边缘随机溃散。」

    「进而破坏了电晶体的电学特征。」

    「周院研发的新一代光刻胶，虽然实现技术突破，但仍旧没能达到逐光和璇玑的要求。」

    「我们的设计软体和光刻机，在技术上与海外分属于不同的技术路线，要想真正发挥出最大优势，成为世界上最先进的高端晶片生产线，必须为他们量身打造一款国产高端光刻胶。」

    当徐铭的话音传到房间每个人耳中，大家心里也不免感到五味杂陈。

    面对这样的一个结果，不知道该高兴还是叹气。

    首次全链路功能验证流片，在一定程度上，证明了逐光极紫外光刻机，和璇玑系统EDA算法工具的成功，单凭这两项成果自然值得高兴庆贺。

    然却也发现了光刻胶的问题，依旧无法实现真正的国产化高端晶片制造。

    周启深看到结果虽情绪短暂低落，但毕竟是国内化学领域的顶尖专家，他很快便调整好了自己的心态。

    待目光重新浮现坚定之色时，立刻向余高远说话。

    「请院里和领导放心，我们化学研究所，保证在一年时间内找到并解决光刻胶响应迟缓随机。」

    「不影响国产晶片制造产业链问世。」

    然余高远听完这句话后，却并没有立刻开口表态。

    反倒是把视线投向徐铭询问道：「你是整个专项项目的总设计师，先谈谈你的想法和后续打算吧？」说话时脸上表情隐隐夹杂著几分期待。

    以他对徐铭的了解，既然能直接确定问题，那么大概率已经有解决方案。

    肯定要先询问清楚。

    毕竟和徐铭接触的这段时间，他可没少从对方那里听到惊喜。

    没错。

    徐铭对于光刻胶的响应迟缓随机，确实没有太担心。

    正常情况下，要为光刻机和软体量身打造光刻胶，的确是件非常困难的事情O

    尤其在化学合成以及实验的时候，往往要经历无数次的失败后，才能找到最合适的配比技术和数值，而这个过程相对来说也比较漫长。

    若放在以前时间充足的情况下，那自然可以慢慢去研发实验。

    奈何眼下留给国内的时间只剩一年。

    但好在凭借璇玑系统的强大，可以通过数学物理模型把编写光刻胶的分子结构。

    真正做到完美适配。

    要知道极紫外光刻的本质，是光与物质在皮米尺度上的华丽舞蹈，而璇玑系统便是编好的舞蹈动作，光刻胶则归属于那个跳舞的舞者。

    只要编写出具体的分子结构，为每束极紫外光，制定它的化学反应。

    再由化学合成团队，根据结构和路径制造光刻胶。

    采用这种方法，其效率要远远超过传统方案。

    相信不用一年的时间，就能研发出完全适配，逐光极紫外光刻机和璇玑系统的高端光刻胶。

    届时整个晶片制造环节完成闭环，国内掌握的半导体技术也将直接领先全球。

    彻底改写现有的行业格局。

    实现颠覆性变革。

    思维在大脑中快速运转下，徐铭接著不再卖关子，立刻说明详细情况。

    「关于光刻胶的问题，我们没必要担心。

    「如果顺利的话，只需要半年时间，我就有把握实现合成和量产。」

    徐铭的这番话，效果丝毫不亚于一颗巨石，猛然砸进平静的湖面，顿时进发出几米高的浪头，瞬间吸引了现场所有人的惊讶目光。

    短暂怔了十多秒后，还是贺鹏涛最先反应过来，连忙主动向徐铭抛出自己心里的疑问。  

    「徐总师。」

    「你还在化学领域有过研究？」

    「这个也懂吗？」丁顺安不甘示弱紧随其后附和。

    在他们看来，徐铭尚不到三十岁，能分别在数学和物理以及信息领域做出巨大成果，就已然称得上多少年难见的顶级天才了。

    要是连化学也研究过的话，那可就真是一点不给旁人留活路了。

    毫不夸张的讲，这一个人就相当于一个团队。

    还员天才的那种。

    与此同时余高远也有些傻眼，和贺鹏涛与丁顺安一样看向徐铭，甚至都忘记了因这个情况感到惊喜。

    主要他对徐铭的了解，可比现场所有人都清楚。

    明明记忆中，哪怕是暂时未解密的项目，徐铭也不曾有过化学领域的惊人水平。

    总不能是这段时间新学习的？

    徐铭自然也注意到了大家的反应，在把众人的表情变化看在眼里后，对此也是哭笑不得不知该说什么好。

    待战术轻咳了两声，方重新开口详细解释。

    「化学我确实不是很擅长，之所以这样说，是因为借助璇玑系统可以加快对光刻胶结构的编写，如此和周院他们互相配合之下，我想应该能很快解决光刻胶问题。」

    「原来是这样啊。」余高远笑著松了口气。

    周围包括周启深在内的其他院士专家，也都重新把快要跳出的心平复下去。

    只觉得好受了许多。

    就说嘛，像徐教授这样的天才，能同时研究三个学科领域已经是极限了。

    怎么可能还擅长化学。

    不过他们并不知道，此刻徐铭则正在想，或许可以借助这个机会把化生学科的等级提上来，刚好如果解锁出新词条的话，或许能够更轻松解决当下的问题瓶颈。

    毕竟数学和物理以及信息学科，在提升到4级后，短时间内可没办法达到5级O

    周启深听到徐铭的话，当即眼前一亮。

    他正担心化学研究所，可能无法在一年内，彻底解决高端光刻胶问题，有了徐铭这项方案帮忙，那成功的概率无疑会大大提升。

    念头停留在这里，当即转头看向余高远，请求配合徐铭研发国产高端光刻胶O

    「我同意徐总师的提议，通过璇玑系统辅助，确实能够加快对光刻胶分子结构的设计编写。」

    「接下来我们化学研究所全体成员，都会听从徐总师的安排全力攻坚。」


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